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退火爐的溫場(chǎng)均勻性是決定材料熱處理質(zhì)量的核心參數(shù),直接影響晶粒尺寸、相變行為及殘余應(yīng)力分布。本文系統(tǒng)探討溫場(chǎng)均勻性的關(guān)鍵影響因素、優(yōu)化策略及工業(yè)應(yīng)用案例,為高精度退火工藝提供理論指導(dǎo)與技術(shù)解決方案。1.溫場(chǎng)均勻性的技術(shù)意義與評(píng)價(jià)指標(biāo)1.1均勻性對(duì)材料性能的影響·半導(dǎo)體晶圓:溫度偏差±5℃可導(dǎo)致?lián)诫s濃度波動(dòng)10%,載流子遷移率下降20%(參考IEEETrans.Semicond.Manuf.,2019)?!そ饘侔宀模壕植繙夭?0℃引發(fā)非均勻再結(jié)晶,拉伸強(qiáng)度分散度增...
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快速退火爐的選型需要綜合考慮工藝需求、材料特性、設(shè)備性能以及預(yù)算等因素。以下是選型時(shí)需要關(guān)注的關(guān)鍵參數(shù)和步驟:---**1.明確工藝需求**?材料類型:金屬、半導(dǎo)體(如硅、GaN)、玻璃、陶瓷等,不同材料對(duì)溫度范圍和氣氛的要求差異較大。?退火目的:消除應(yīng)力、再結(jié)晶、摻雜激活(如半導(dǎo)體離子注入后的退火)、改善材料性能等。?工藝參數(shù):?溫度范圍:最高溫度需覆蓋材料退火需求(例如半導(dǎo)體退火可能需要1200°C以上,金屬可能更低)。?升溫速率:快速退火通常要求很高升溫速度(如100°...
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如何選擇晶圓劃片機(jī)?關(guān)鍵技術(shù)與選型指南在半導(dǎo)體制造、MEMS器件封裝、光電子芯片加工等領(lǐng)域,晶圓劃片機(jī)(WaferDicingMachine)是將整片晶圓切割成獨(dú)立芯片(Die)的核心設(shè)備。其性能直接決定芯片的切割質(zhì)量、生產(chǎn)效率和成本。然而,面對(duì)市場(chǎng)上種類繁多的劃片機(jī)(如機(jī)械劃片、激光切割、等離子蝕刻等),如何選擇適合的機(jī)型?本文將從技術(shù)原理、應(yīng)用場(chǎng)景和關(guān)鍵參數(shù)出發(fā),系統(tǒng)解析選型邏輯。一、明確需求:四大核心問題在選擇劃片機(jī)前,需明確以下基礎(chǔ)問題:1.加工材料類型傳統(tǒng)硅基晶圓:...
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如何將整片晶圓分割成獨(dú)立的芯片呢?將硅片分裂成小片的過程通常稱為“劃片”或“切割”(Dicing),這是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵步驟,用于將晶圓分割成獨(dú)立的芯片(die)。以下是幾種常見方法及注意事項(xiàng):1.機(jī)械劃片(DicingSaw)原理:使用高速旋轉(zhuǎn)的金剛石刀片或硬質(zhì)合金刀片切割硅片。步驟:貼膜:將硅片背面粘貼在藍(lán)膜(UV膠膜)上,固定位置。劃片:用劃片機(jī)沿預(yù)先設(shè)計(jì)的切割道(切割線)進(jìn)行切割。清洗:去除切割產(chǎn)生的碎屑(可用去離子水或超聲波清洗)。分離:拉伸藍(lán)膜使小芯片分離。優(yōu)點(diǎn)...
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邁可諾科研型納米壓印機(jī)RD-NIL100,是一款桌面型納米壓印系統(tǒng)。主要應(yīng)用于微米或納米結(jié)構(gòu)的壓印成型。一、納米壓印機(jī)應(yīng)用1.1DOE(人臉識(shí)別衍射元器件)可用于制造高精度的衍射光學(xué)元件(DOE),這些元件在人臉識(shí)別技術(shù)中起到關(guān)鍵作用。通過納米壓印技術(shù),能夠在基材上形成微米或納米級(jí)的復(fù)雜光學(xué)結(jié)構(gòu),用于光束整形和衍射,從而提升人臉識(shí)別設(shè)備的成像質(zhì)量和識(shí)別精度。1.2Diffuser(擴(kuò)散元器件)該設(shè)備適用于生產(chǎn)光學(xué)擴(kuò)散器,通過壓印形成均勻的微納結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)光的散射和擴(kuò)散。這種擴(kuò)散...
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接觸角的含義什么是接觸角?接觸角為我們提供了液體在表面上鋪展的好壞的指標(biāo)。在配制油墨時(shí),接觸角提供了一個(gè)有用的指標(biāo),表明油墨的改性將如何影響其鋪展。接觸角可大可小,取決于被研究材料的物理性質(zhì)。下圖顯示了表面上的三種不同的水滴。最左邊的液滴具有大的接觸角,因?yàn)樗粫?huì)在固體表面上擴(kuò)散。最右邊的液滴具有低接觸角,因?yàn)樗鼣U(kuò)散得很好。這種擴(kuò)散被稱為“潤濕”,當(dāng)液滴沉積在表面上時(shí),或者“潤濕”或者“去潤濕”。下圖顯示了固體表面上液滴的2D截面。定位液滴輪廓與固體表面相交的點(diǎn)。液滴輪廓和固...
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一、為何選擇錫替代鉛?傳統(tǒng)鉛基鈣鈦礦(如(fapbi?)的效率已突破30%,但其毒性問題引發(fā)環(huán)境擔(dān)憂。錫與鉛同屬iv族元素,電子特性相似,且毒性更低。此外,錫鈣鈦礦的理論極限效率(,33%)()甚至略高于鉛基材料。然而,錫的超快結(jié)晶特性導(dǎo)致薄膜易出現(xiàn)孔洞、晶粒不均等問題二、實(shí)驗(yàn)方法:氮?dú)饷}沖+添加劑「雙管齊下」關(guān)鍵策略****-調(diào)控」結(jié)晶法**::觸發(fā):用氮?dú)饷}沖瞬間加速溶劑蒸發(fā),誘導(dǎo)成核。,誘導(dǎo)成核。調(diào)控:通過添加劑(如masncl?),改變?nèi)芤夯瘜W(xué)環(huán)境,延緩晶核生長速度,...
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