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簡要描述:AZ1500系列i線光刻膠高感光度標準G線正型光刻膠為廣泛應用于半導體制造領域而優(yōu)化的高感光度G線正型光刻膠特征: 1) 高感光度,高產(chǎn)出率 2) 高附著性,特別為濕法刻蝕工藝改進 3) 廣泛應用于*半導體行業(yè)
產(chǎn)品分類
詳細介紹
高感光度標準G線正型光刻膠
AZ1500系列i線光刻膠
為廣泛應用于半導體制造領域而優(yōu)化的高感光度G線正型光刻膠
特征:
1) 高感光度,高產(chǎn)出率
2) 高附著性,特別為濕法刻蝕工藝改進
3) 廣泛應用于*半導體行業(yè)
AZ1500系列i線光刻膠參考工藝條件:
前烘 :100℃ 60秒 (DHP)
曝光 :G線步進式曝光機/接觸式曝光機
顯影 :AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60秒 Puddle
清洗 :去離子水30秒
后烘 :120℃ 120秒 (DHP)
剝離 :AZ剝離液及/或氧等離子體灰化
產(chǎn)品型號:AZ1500
Viscosity:4.4mPa 20mPa 38mPa 90mPa
AZ1500系列i線光刻膠 旋涂曲線:
AZ1500系列i線光刻膠 圖案輪廓:
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