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產(chǎn)品分類
Plasmionique支持 CVD / ALD / PECVD / RIE ,加拿大進(jìn)口桌面式設(shè)備,模塊化設(shè)計(jì),可支持ALD原子層沉積,CVD化學(xué)氣相沉積,PECVD??等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積和RIE??反應(yīng)離子刻蝕。
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